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特 色 ① SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察 |
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■ 樣品臺(tái)可搭載超大/超重樣品 ● 通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品 ● 選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品， 大大提高了工作效率 ● 具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度* ● 紅外CCD探測器，提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的安全性
■ 支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察 ● 與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī) ● 覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域 ● 支持360度旋轉(zhuǎn) |
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② 隨著各種自動(dòng)化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。 |
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■ 一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI ■ 各種自動(dòng)化功能 ● 自動(dòng)調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例) ● 提高了自動(dòng)聚焦精度 ● 搭載Intelligent Filament Technology（IFT） ■ Multi Zigzag，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察 ■ Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告 |
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③ 可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案 |
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■ 可滿足多種觀察需求的探測器 ● 搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察 ● 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像
■ 配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件 >■ SEM/EDS一體化功能* ■ 三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D* ■ 支持圖像測量軟件Image pro *配件 |
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① 多功能超大樣品倉
① 標(biāo)配多功能超大樣品倉，支持大型樣品分析■ 樣品臺(tái)可搭載超大/超重樣品 |
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● 通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品 樣品或者是超大樣品，也能夠輕松更換。
● 樣品交換倉*
● 具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度* ● 紅外CCD探測器*，提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的安全性
*配件 ■ 支持全視野移動(dòng),SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察● 與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)
● 覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域 相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)通過圖像拼接功能可以實(shí)現(xiàn)大視野的SEM MAP觀察。觀察區(qū)域?yàn)橹睆?30mm（SU3800）/ 直徑200mm（SU3900），并且可以與樣品臺(tái)R一起聯(lián)動(dòng)，移動(dòng)到大型樣品的最大觀察區(qū)域。
● 支持360度旋轉(zhuǎn) SEM MAP操作界面可直觀的顯示樣品與探測器的位置關(guān)系，因此在觀察高度差大的樣品時(shí)，可根據(jù)需求旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)或 電子束來獲得最佳的觀察分析位置，避免陰影效應(yīng)造成的影響。
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② 各種自動(dòng)化功能
② 隨著各種自動(dòng)化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。■ 一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI搭載了簡約UI，簡單操作，如同觸屏般直觀。 ● 從移動(dòng)樣品臺(tái)到樣品觀察，輕輕點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可實(shí)現(xiàn) ● 也可觸屏操作 ● 主窗口為1280x960像素的大窗口 ● 可以切換顯示模式，并且同時(shí)顯示/拍攝兩種不同的信號(hào)
■ 各種自動(dòng)化功能● 自動(dòng)調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時(shí)間減少至以往的1/3以下（※S-3700N比例）
● 采用了新的算法，提高了自動(dòng)聚焦精度
● 搭載Intelligent Filament Technology（IFT）
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■ Multi Zigzag*，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察Multi Zigzag可以自動(dòng)獲取連續(xù)的視野?？梢栽诓煌囊曇爸信臄z多張高倍率圖像，并使用Viewer功能拼接拍攝的圖像，創(chuàng)建大視野圖像。 *配件
● Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告 創(chuàng)建的報(bào)告可保存為Microsoft Office®格式。保存的文件可通過Microsoft Office®進(jìn)行編輯。 |
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③ 測試需求的應(yīng)用解決方案,探測器
③ 可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案■ 可滿足多種觀察需求的探測器● 搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察
● 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像。 |
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通過采用4分割+1單元的設(shè)計(jì)，對每個(gè)單元進(jìn)行計(jì)算，無需傾斜樣品，即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像。由于探測器的設(shè)計(jì)十分精巧，且靈敏度高，實(shí)現(xiàn)了高分辨率和高信噪比。 |
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■ 支持圖像測量軟件Image proSU3800 / SU3900搭載了IPI，可以將SEM圖像傳輸?shù)接擅绹鳰edia Cybernetics公司開發(fā)的圖像處理軟件Image Pro。只需單擊一下，即可將數(shù)據(jù)從SEM傳輸?shù)綀D像測量軟件。
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④ 觀察分子案例
礦物的觀察分析案列顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀察結(jié)果。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差。但是,在CL圖像中可以確認(rèn)到暗 色區(qū)域是對應(yīng)于錯(cuò)濃度較高的區(qū)域。
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⑤ 應(yīng)用圖例
金屬材料
陶瓷材料
電子零件
生物/醫(yī)藥品
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規(guī)格
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| ITEM | SU3800 | SU3900 | |
| 二級(jí)電子分解能 | 3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式） | ||
| 15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式） | |||
| 背散射電子分解能 | 4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式） | ||
| 倍率 | ×5～×300,000（照片倍率*1） | ||
| ×7～×800,000（實(shí)際顯示倍率*2） | |||
| 加速電壓 | 0.3kV～30kV | ||
| 低真空度設(shè)定 | 6～650 Pa | ||
| 圖像位移 | ±50µm（WD＝10mm） | ||
| 最大樣品尺寸 | 200mm直徑 | 300mm直徑 | |
| 樣品臺(tái) | X | 0～100mm | 0～150mm |
| Y | 0～50mm | 0～150mm | |
| Z | 5～65mm | 5～85mm | |
| R | 360°連續(xù) | ||
| T | －20°～+90° | ||
| 最大可觀察范圍 | 130mm直徑（R并用） | 200mm直徑（R并用） | |
| 最大可觀察高度 | 80mm（WD=10mm） | 130mm（WD=10mm） | |
| 電機(jī)驅(qū)動(dòng) | 5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng) | ||
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 中心操控式鎢絲發(fā)射 | |
| 物像鏡頭光圈 | 4孔可動(dòng)光圈 | ||
| 檢測系統(tǒng) | 二級(jí)電子檢測器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測器 | ||
| EDX分析WD | WD＝10mm（T.O.A＝35°） | ||
| 圖像顯示 | 自動(dòng)光軸調(diào)整功能 | 自動(dòng)光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC） | |
| 自動(dòng)光軸調(diào)整（實(shí)時(shí)級(jí)別對齊） | |||
| 自動(dòng)調(diào)整光束亮度 | |||
| 自動(dòng)圖像調(diào)整功能 | 自動(dòng)亮度和對比度控制（ABCC） | ||
| 自動(dòng)對焦控制（AFC） | |||
| 自動(dòng)標(biāo)記和焦點(diǎn)功能（ASF） | |||
| 自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)整（AFS） | |||
| 自動(dòng)光束對準(zhǔn)（ABA） | |||
| 自動(dòng)啟動(dòng)（HV-ON→ABCC→AFC） | |||
| 操作輔助功能 | 光機(jī)旋轉(zhuǎn)、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點(diǎn)對點(diǎn)測量、角度測量、文本）、預(yù)設(shè)放大、樣品臺(tái)位置導(dǎo)航功能（SEM MAP）、光束標(biāo)記功能 | ||
| 配件 | ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺(tái)移動(dòng)限制解除功能、EDS集成 | ||
| 配件（外部裝置） | 能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）、 各種外部功能臺(tái)（加熱臺(tái)、冷卻臺(tái)、牽引臺(tái)） |
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* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的顯示尺寸。 * 2.指定放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的顯示尺寸。 |
